特種氣體之混合氣產(chǎn)品介紹

　　執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 14602-2014《電子工業(yè)用氣體混合氣》及ISO 14175-2002《焊接消耗品氣體與混合氣》

　　核心優(yōu)勢(shì)：

　　高精度配比：采用動(dòng)態(tài)混合工藝，比例誤差≤0.5%，滿足半導(dǎo)體蝕刻、激光切割等場(chǎng)景需求。

　　組分穩(wěn)定性：通過(guò)低溫吸附技術(shù)去除雜質(zhì)，確保混合氣在儲(chǔ)存期內(nèi)比例無(wú)偏移（≤1%）。

　　安全設(shè)計(jì)：專(zhuān)用高壓鋼瓶配備防爆閥與壓力監(jiān)測(cè)模塊，每5年進(jìn)行水壓試驗(yàn)（壓力22.5MPa）與超聲波測(cè)厚檢測(cè)。

　　應(yīng)用場(chǎng)景：

　　半導(dǎo)體制造：CF4/O2混合氣用于芯片蝕刻，控制線寬精度至納米級(jí)。

　　醫(yī)療呼吸：O2/N2O混合氣支持無(wú)痛分娩與術(shù)后鎮(zhèn)痛。

　　科研校準(zhǔn)：零點(diǎn)氣（如N2/He）用于環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器標(biāo)定。

　　質(zhì)量控制：

　　配比檢測(cè)采用氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（精度±0.1%），批次留樣備查。

　　鋼瓶充裝前經(jīng)真空脫附處理，殘留水分≤1ppm。

　　安全措施：

　　儲(chǔ)存區(qū)域配備混合氣檢測(cè)儀（檢測(cè)范圍0-100%VOL）與排風(fēng)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。

　　運(yùn)輸車(chē)輛配備GPS壓力監(jiān)控（罐體壓力≤15MPa）及防爆裝置。